檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Thin film".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="氧化鈷"
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中文摘要 本論文研究在氧化鋁基材上利用網印法塗佈高溫銀膠,經高溫燒結後作為電極,接著以真空磁控濺鍍法於其上成長鈷薄膜,再於不同氣氛下以加熱板直接加熱使其表面產生微奈米結構氧化鈷,以提高其比表面積,製…
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本研究利用反應式濺鍍沉積摻鈷類鑽碳(Co-DLC) 薄膜,並將Co-DLC薄膜在350℃進行大氣退火30-90分鐘,得到Co、CoO、Co3O4和DLC組成之CoOx-DLC薄膜,藉由SEM、RAM…
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本研究成功利用陽極層離子源之反應式離子束濺鍍沉積氧化鈷與氧化鈷銅薄膜,薄膜分別於製程溫度150℃與300℃下以不同氧氣流量比沉積於矽基板與石英基板上,實驗結果顯示,於150℃下沉積之薄膜皆屬非晶薄膜…